Wenn TSMC, Samsung und SK Hynix alle um die Ware konkurrieren, ist Elektronen-Grad-Hydrofluorsäure längst zum unverzichtbaren "chemischen Schlüssel" in der Herstellung von AI-Chips geworden.
1. Was ist passiert? – Elektronische Flusssäure: Das „präzise chemische Werkzeug“ der Halbleiterfertigung
1. Was ist elektronische Flusssäure?
Elektronische Flusssäure (Electronic Grade Hydrofluoric Acid, EG-HF) ist eines der am häufigsten verwendeten und nachgefragtesten nasschemischen Elektronikmaterialien in der Herstellung von integrierten Schaltungen. Sie wird durch Reinigung von wasserfreier Flusssäure und deren Absorption in ultrareinem Wasser hergestellt. Dank der Eigenschaft, dass Fluoridionen ausschließlich mit Siliziumdioxid (dem Hauptmaterial des Wafers) chemisch reagieren, übernimmt elektronische Flusssäure eine unersetzliche Rolle in der Chip-Herstellung. Sie wird hauptsächlich für die Wafer-Reinigung (Entfernung der natürlichen Oxidschicht und von geringen Restverunreinigungen) sowie das Ätzen (präzise Strukturierung und Formgebung der Waferoberfläche) eingesetzt.
Je nach Reinheit und Anwendungsbereich wird elektronische Flusssäure in mehrere Grade unterteilt: EL, UP, UPS, UPSS, UPSSS (also Halbleiterklasse G5) und weitere. UPSSS stellt aktuell die höchste Kategorie dar und wird vor allem für 12-Zoll-Wafer mit 55 nm Strukturbreite und kleiner verwendet. Deren technologische Hürden und Produktpreise liegen deutlich über denen der niedrigeren Grade. Weltweit führend bei G5-Flusssäure sind vor allem Stella Chemifa und Kanto Chemical aus Japan sowie Soulbrain und ENF Technology aus Südkorea.
2. Anwendungsszenarien und Marktgröße:
Aus Sicht der Endnachfrage ist die Halbleiterfertigung der größte Verbrauchsbereich für elektronische Flusssäure. Im Prospekt der H-Aktien der Binhuach Group geht aus Daten von Frost & Sullivan hervor, dass sich der gesamte Markt für elektronische Flusssäure in China im Jahr 2025 auf etwa 4,25 Milliarden RMB belaufen wird. Davon entfallen auf G5-Produkte (Halbleiterqualität) in China eine Kapazität, Produktionsmenge und ein Umsatz von jeweils 135.000 Tonnen, 74.900 Tonnen und 658 Millionen RMB. Mit der kontinuierlichen Ausweitung der Produktionskapazitäten für AI-Chips, Speicherchips und Logikchips wächst dieser Markt aktuell mit zweistelligen Zuwachsraten.
3. Drei Hauptkatalysatoren für das jüngste sprunghafte Interesse am Markt:
Katalysator 1: Kostengetriebene Preiserhöhungen durch den drastischen Preisanstieg bei den Rohstoffen. Seit März 2026 führte der geopolitische Konflikt im Nahen Osten zu einer Verknappung der globalen Schwefelversorgung. Die Preise für Schwefelsäure, einem Schlüsselausgangsstoff für die Herstellung von wasserfreier Flusssäure (AHF), sind stark angestiegen, was die Kosten für wasserfreie Flusssäure direkt erhöht hat. Laut einem Bericht der UBS (siehe Abbildung 5) zeigen die Preise für wasserfreie Flusssäure in China seit 2026 einen deutlichen Aufwärtstrend. Der Kostendruck wird entlang der Kette „Schwefel → Schwefelsäure → wasserfreie Flusssäure → elektronische Flusssäure“ weitergegeben und resultierte schließlich, wie von Do-Fluoride offen gelegt, in Endpreiserhöhungen von 20 % bis 30 %.
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